產品特色

RH-1500G系列-無塵室專用機型

可搬送40kg大型基板。最大對應1200mm X 1500mm大型基板。

RC-1000GW系列-無塵室專用機型

可搬送15kg大型基板

RH-1000G系列-無塵室專用機型

對應大型基板(最大1100X1100)

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